基于自支撐技術(shù)的氮化鎵HVPE生長研究及進展



在華林科納第一屆濕法培訓會中,寬帶隙半導體材料及制造領(lǐng)域?qū)<依钇瘌Q博士帶我們一起了解氮化鎵的研究及進展。
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氮化鎵(GaN)的簡介:
氮化鎵(GaN) :射頻半導體,支撐著5G基站及工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)的建設。
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1:更高的擊穿電場 (能承受幾百A)
2:更高的熱導率:Si的2倍
3:更高的電子飽和速率
4:更適合高溫、高頻、大功率及抗輻射器件
GaN主要特點:
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超高熔點:>2500 ℃,耐腐蝕、耐壓 (1000 V)、耐熱(800 ℃)
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纖鋅礦結(jié)構(gòu):結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定,高硬度
GaN 未來主要應用:
1、5G:
2、高功率高頻器件
3、激光雷達:如無人駕駛
4、Micro LED
GaN主要生長方法:
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氮化鎵襯底HVPE生長研究及進展:
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