硅烷廢氣處理技術(shù)：

硅烷廢氣是含有大量有機(jī)物的混合氣體，其中含有多種金屬、非金屬元素及多環(huán)芳烴，具有毒性大、易燃易爆、腐蝕性強(qiáng)等危害，對(duì)環(huán)境和人體健康有較大影響，采取有效措施加以控制。

目前，主要采用燃燒塔（火炬）法進(jìn)行凈化處理。該方法簡(jiǎn)單易行，投資少，運(yùn)行成本較低，且能回收利用部分熱量。但存在設(shè)備占地面積過(guò)大，操作維護(hù)不便等缺點(diǎn)。

硅烷廢氣的燃燒塔：

燃燒塔是一種將低熱值氣體通過(guò)加熱后產(chǎn)生高溫高濃度煙氣的一種裝置。其原理是在反應(yīng)釜內(nèi)裝設(shè)噴淋管，使反應(yīng)釜中的空氣與霧狀水均勻接觸，形成微細(xì)的水膜，從而降低反應(yīng)釜內(nèi)的溫度。

在低溫狀態(tài)下，水蒸氣和氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成二氧化碳和水。隨著溫度升高，反應(yīng)速度加快，生成的二氧化碳量增加。當(dāng)達(dá)到一定溫度和壓力時(shí)，便發(fā)生放熱反應(yīng)，釋放出大量的熱量，使?fàn)t膛內(nèi)的溫度迅速上升。

燃煤型焚燒爐：

燃煤型焚燒爐是將煤炭經(jīng)干燥，粉碎后送入料斗，由給料機(jī)將物料送至加料口，加進(jìn)適量的燃料，然后啟動(dòng)給粉機(jī)，將物料均勻的送至燒嘴，再啟動(dòng)點(diǎn)火系統(tǒng)，即可開(kāi)始投料，待到出渣門(mén)打開(kāi)，即停止投料，此時(shí)，排渣門(mén)關(guān)閉，完成一個(gè)循環(huán)。

燃油燃?xì)庑头贌隣t：

燃油燃?xì)庑头倩癄t是由供油系統(tǒng)和輸氣管道組成的一個(gè)封閉的連續(xù)式氣化室。在氣化室內(nèi)通入可燃性氣體，并保持一定的壓力。當(dāng)需要對(duì)物質(zhì)進(jìn)行加工時(shí)，向氣化室供給所需的用汽或煤氣。由于可燃性氣體的不斷供應(yīng)，使得被加工的物質(zhì)得以持續(xù)不斷的得到氧化，分解，成為無(wú)毒無(wú)害的二氧化碳，水和氮?dú)馀懦觥?