Keysight / Agilent 4156C 精密半導(dǎo)體參數(shù)分析儀為高級(jí)器件表征提供了高精度實(shí)驗(yàn)室臺(tái)式參數(shù)分析儀。Keysight/Agilent 4156C 分析儀卓越的低電流和低電壓分辨率以及內(nèi)置的準(zhǔn)靜態(tài) CV 測(cè)量功能為未來擴(kuò)展其他測(cè)量儀器奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

Keysight / Agilent 4156C 分析儀的特性和技術(shù)指標(biāo)包括：

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• 內(nèi)置四個(gè)高分辨率源/監(jiān)視器單元，2個(gè)電壓源單元；2電壓監(jiān)控單元

• 開發(fā)新的工藝技術(shù)并通過測(cè)量到 1 fA 和 0.2 uV 來評(píng)估材料

• 全開爾文；每個(gè) HRSMU 的強(qiáng)制、感應(yīng)和保護(hù)端子

• 執(zhí)行準(zhǔn)靜態(tài)電容測(cè)量與電壓測(cè)量

• 自動(dòng)提取工藝參數(shù)，無需手動(dòng)操作屏幕標(biāo)記

• 使用超低泄漏 SMU 測(cè)量泄漏特性

• 使用集成脈沖發(fā)生器和選擇器開關(guān)自動(dòng)進(jìn)行設(shè)備表征

• 使用內(nèi)置應(yīng)力模式執(zhí)行晶圓上可靠性測(cè)試

• 使用圖形用戶界面執(zhí)行點(diǎn)擊式測(cè)量

• 在 Windows 環(huán)境下提供圖形數(shù)據(jù)分析功能

• 旋鈕掃描功能驗(yàn)證每個(gè)探頭是否接觸

• 待機(jī)模式無需外部電源

• 觸發(fā)模式允許同步 AC/DC 測(cè)量

• 允許繪制和分析所有數(shù)據(jù)的 IBASIC 用戶函數(shù)