國(guó)內(nèi)氟硅酸主要來(lái)源于磷肥廠及氫氟酸/無(wú)水氟化氫生產(chǎn)廠家。 一般來(lái)說(shuō)，磷礦石中伴生有3～4%的氟，主要以氟磷灰石[Ca10F2（PO4）6]的形態(tài)存在，也有少許以氟硅酸鈣（CaSiF6）的形態(tài)存在。磷灰石中的氟在磷礦酸解過(guò)程中有 42%～46%以氣態(tài)（HF、SiF4）形式放出；在普鈣生產(chǎn)過(guò)程中，有18%～35%轉(zhuǎn)化為氣態(tài)氟化物排出，部分會(huì)以氣體（SiF4和HF）形式逸出。這些氣體用水吸收后，就能得到副產(chǎn)品氟硅酸（H2SiF6）。磷肥廠副產(chǎn)氟硅酸主要集中在云南、貴州、湖北、甘肅、內(nèi)蒙（詳見(jiàn)表1）。

目前氫氟酸/無(wú)水氫氟酸生產(chǎn)都是采取螢石粉、硫酸為原料，在回轉(zhuǎn)爐加熱反應(yīng)，產(chǎn)生氟化氫氣體，經(jīng)洗滌、冷卻、冷凝、精餾、脫氣得到氫氟酸/無(wú)水氫氟酸產(chǎn)品，過(guò)程副產(chǎn)氟硅酸。氟化氫副產(chǎn)氟硅酸主要集中在福建、江西、浙江、山東、湖南和內(nèi)蒙古（詳見(jiàn)表2）。