在做掃描電子顯微鏡（SEM）測(cè)試時(shí)，科學(xué)指南針檢測(cè)平臺(tái)工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到，好多同學(xué)對(duì)sem電子衍射不太了解，針對(duì)此，科學(xué)指南針檢測(cè)平臺(tái)團(tuán)隊(duì)組織相關(guān)同事對(duì)網(wǎng)上海量知識(shí)進(jìn)行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

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電子衍射

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當(dāng)電子波（具有一定能量的電子）落到晶體上時(shí)，被晶體中原子散射，各散射電子波之間產(chǎn)生互相干涉現(xiàn)象。晶體中每個(gè)原子均對(duì)電子進(jìn)行散射，使電子改變其方向和波長(zhǎng)。在散射過(guò)程中部分電子與原子有能量交換作用，電子的波長(zhǎng)發(fā)生變化，此時(shí)稱(chēng)非彈性散射；若無(wú)能量交換作用，電子的波長(zhǎng)不變，則稱(chēng)彈性散射。在彈性散射過(guò)程中，由于晶體中原子排列的周期性，各原子所散射的電子波在疊加時(shí)互相干涉，散射波的總強(qiáng)度在空間的分布并不連續(xù)，除在某一定方向外，散射波的總強(qiáng)度為零。

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電子衍射優(yōu)點(diǎn)

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電子衍射能在同一試樣上將形貌觀(guān)察與結(jié)構(gòu)分析結(jié)合起來(lái)。

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電子波長(zhǎng)短，單晶的電子衍射花樣婉如晶體的倒易點(diǎn)陣的一個(gè)二維截面在底片上放大投影，從底片上的電子衍射花樣可以直觀(guān)地辨認(rèn)出一些晶體的結(jié)構(gòu)和有關(guān)取向關(guān)系，使晶體結(jié)構(gòu)的研究比X射線(xiàn)簡(jiǎn)單。

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物質(zhì)對(duì)電子散射主要是核散射，因此散射強(qiáng)，約為X射線(xiàn)一萬(wàn)倍，曝光時(shí)間短。

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不足

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電子衍射強(qiáng)度有時(shí)幾乎與透射束相當(dāng)，以致兩者產(chǎn)生交互作用，使電子衍射花樣，特別是強(qiáng)度分析變得復(fù)雜，不能象X射線(xiàn)那樣從測(cè)量衍射強(qiáng)度來(lái)廣泛的測(cè)定結(jié)構(gòu)。此外，散射強(qiáng)度高導(dǎo)致電子透射能力有限，要求試樣薄，這就使試樣制備工作較X射線(xiàn)復(fù)雜；在精度方面也遠(yuǎn)比X射線(xiàn)低。

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