***是**產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵材料之一，又稱光致抗蝕劑，是一種對(duì)光敏感的混合液體。其組成成分主要有光引發(fā)劑(*括光增感劑、光致產(chǎn)酸劑)、***樹(shù)脂、單體、溶劑和其他助劑。***能夠通過(guò)光化學(xué)反應(yīng)，在曝光、顯影等光刻工序?qū)⑺枰奈⒓?xì)圖形從光罩(掩模版)轉(zhuǎn)移到待加工基片上。依據(jù)使用場(chǎng)景，這里的待加工基片可以是集成電路材料，顯示面板材料或者印刷電路板。

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中文名稱：2-羧基-4-降冰片內(nèi)酯-5-*****酯

英文名稱：5-Methacroyloxy-2,6-norbornane carbolactone

別稱：*****2-****-2H-3,5-亞**環(huán)戊并[b]**-6-基酯

CAS號(hào)：254900-07-7

分子量：222.24

密度：1.26±0.1 g/cm3

沸點(diǎn)：367.7±25.0 °C

分子式：C12H14O4

熔點(diǎn)：102 °C

MSDS：N/A

閃點(diǎn)：N/A

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AZ 1500 系列i線***

AR-P 6200正**束***

Nanoscribe IP系列***

IP-PDMS***

IP-n162***

IP-Visio***

IP-S***

IP-Dip***

紫外*** AR-N 4400

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瑞禧WFF.2022.6

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